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日本UNION DCM-40、DCM-60两面观察测量显微镜
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日本UNION DCM-40、DCM-60两面观察测量显微镜

日本UNIONDCM-40、DCM-60两面观察测量显微镜

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DCM-40/60

双视显微镜(适用于直径达 4 和 6 英寸的晶圆)




DCM-40/60 是显微镜系统,在显微镜的视野中叠加样品(晶圆)的顶部和底部图案,然后通过测量系统比较位移来测量位移长度。由于安装在顶部和底部的物镜有 5 种类型,总放大倍率从 50X 到 1000X,因此可以观察各种样品。


DCM-60DCM-40
目标

由客户选择)
(总放大率)(50X)(100X)(200X)(400X)PLM5XPLM10XPLLWDM20XPLLWDM40X底部PLM5XPLM10XPLLWDM20XPLLWDM40X
目镜一对SUW10X 
(包括千分尺分划板)
一对UW10X 
(包括千分尺分划板)
总放大率50X 至 400X(更大的放大倍数可根据客户订单提供。)
上物镜移动距离24mm30mm
下物镜移动距离3 毫米12mm
筛选上:绿色 / 下:红色
舞台和柜台150 x 150mm 手动载物台
KC-12R 计数器(1μm 读数)
50 x 50mm 手动载物台,数字测微计(1μm 读数) 100 x 100mm 手动载物台,KC-12R 计数器(1μm 读数)
舞台旅行X:150mm Y:150mmX : 50mm Y : 50mm 
X : 100mm Y : 100mm
晶圆架:6 英寸:4 英寸
持有人可以在定制的基础上提供特殊设计的形状。

舞台旋转360°
照明150W卤素光导照明
材料厚度20mm以下30mm以下
校准图类型光轴校准校准图


我们展出了新机器 PCV-30S 和 3 轴机器人系统。

PCV-30S是KPC-30a的后继机。

底座设计为 PCV-30,但我们延长了 Y 行程并增加了工作台容量。

基本上,这是交钥匙业务的基础机器。

这次我真的很想介绍一下3轴机器人系统。

请参考附件。

我觉得像发那科这样的多关节机器人的操作、示教和编写程序并不容易。

但我们的三轴机器人操作简单,教学简单,程序简单,任何人都可以使用。

要点如下,-这个机器人只有3轴(前后轴,上下轴,旋转轴),所以我们可 以轻松操作。

-由机器的NC单元控制。我们可以做和切割程序一样的教学和制作程序。

-控制器是 0i-MF Plus,它有 2 路径系统。 1 条路径用于机器,另一条 路径用于机器人。

-加工程序和机器人程序可以同时运行。

并且机器人的容量为20kg(包括手装置)

能用于稍重的零件。

如果客户需要,我们可以提供手动装置、执行器、气动……带控制装置。

我们可以安装到所有 Kira 型号。

请访问并观看参考电影。

三轴机器人系统

如果您有问题,请告诉我。

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